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微型真空泵更多
微型干式真空泵是一種真空泵，因為它是終身免維修。微型無油干機械真空泵(也稱為干式機械泵)，意味著泵可以從大氣壓力下抽出空氣，并將空氣泵直接排入大氣，泵的極限壓力與油封真空泵相同。
目前，真空工業(yè)中使用的大多數(shù)機械真空泵都是油、水或其他聚合物作為泵的工作介質(zhì)。在泵中起到冷卻、密封、潤滑等作用。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展和真空應(yīng)用的擴大，原機械真空泵及其泵送系統(tǒng)存在著兩個亟待解決的問題。
首先，微型干式真空泵的工作介質(zhì)返回污染被容器吸收，在許多情況下影響產(chǎn)品的質(zhì)量，提高了設(shè)備的維護成本。第二，由于一些工藝過程中的反應(yīng)物質(zhì)對真空泵中的介質(zhì)進行了嚴重的變質(zhì)，泵不能正常工作。
微型干式真空泵廣泛應(yīng)用于以下幾個方面：
1、低壓化學(xué)氣相沉積多晶硅制備技術(shù)。
2、半導(dǎo)體蝕刻過程。在這些生產(chǎn)過程中，常用或產(chǎn)生腐蝕性氣體和研磨顆粒。
3、除了半導(dǎo)體技術(shù)之外，一些微粒技術(shù)不想將顆粒混合到泵油中，希望顆粒會從泵中排出。采用一定類型的干式機械真空泵滿足要求。
4、蒸餾、干燥、脫泡包裝等應(yīng)防止有機溶劑污染，適用于微型干式真空泵。
5、用作無油清洗真空系統(tǒng)的先導(dǎo)泵，防止油污染。
| 型號 |
電壓 (V DC) |
負載電流 (A) |
功率 (W) |
峰值流量(L/min) | 真空度(abs.) |
負壓 (相對壓力) |
體積 (MAX外形尺寸) (mm) |
重量 (g) |
||
| 三種單位換算值 | ||||||||||
| KPa | mmHg | mbar | KPa | |||||||
| PC4020N | 12 | <1.2 | <14.4 | 20 | 40 | 300 | 400 | -60 |
156×64×72 |
1000 |
| 24 | <0.65 | <15.6 | ||||||||
|
PC3025N |
12 | <1.6 | <19.2 | 25 | 30 | 225 | 300 | -70 | 156×64×72 | |
| 24 | <0.8 | <19.2 | ||||||||
| 對比：標準大氣壓 | 101 | 760 | 1013 |
|
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